低温等离子体法利用低温等离子体处理恶臭气体是项新技术。等离子体是由电子、离子、自由基和中性粒子组成的导电性流体，整体呈电中性。除臭原理是通过高压脉冲电晕放电，在常温常压下获得非平衡等离子体，即大量高能电子和·O、·OH等活性粒子，把恶臭污染物氧化降解为无害或危害小的物质。低温等离子体法在国外已被应用于治理VOC废气、烟气脱硫、降解氟利昂类物质等研究，具有处理效率高、能耗低、适用广、无二次污染等特点，在国内应用实例较少。

       在恶臭治理方面，RUAN等用脉冲电晕放电反应器处理２组恶臭气体混合物（200mg／m3C2H5SH＋200mg／m3H2S和105mg／m3C2H5SH＋40mg／m3nh3），前者的去除率分别为95.6％和约100％，后者分别为93.1％和约100％。王建明等采用介质阻挡放电法处理臭气，结果表明，8h后H2S、NH3和臭气浓度去除率分别为91.1％、93.4％及93.6％。文献通过工程应用和试验研究表明，一定范围内增加低温等离子体除臭设备电源电压、频率和停留时间可提高降解效率。低温等离子体法在污水池加盖除臭的运行结果表明，该方法对H2S、NH3、CH3的去除率分别达到81.3％、88.1％、84.4％，可达到相应的国家标准。